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氣體質(zhì)量流量計(jì)采用氣流質(zhì)量傳感器和壓力傳感器。氣流質(zhì)量傳感器是基于流過傳感器氣流質(zhì)量帶走的熱量正比于其輸出電壓的熱傳輸原理,壓力傳感器是氣體的壓力正比于輸出電壓,即將氣體質(zhì)量流量和氣體壓力同時(shí)轉(zhuǎn)換成模擬信號輸出。
質(zhì)量流量計(jì)零點(diǎn)不穩(wěn)定形成零點(diǎn)漂移,影響其精確度的進(jìn)一步提高,使得許多型號儀表只得采用將總誤差分為基本誤差和零點(diǎn)不穩(wěn)定度量兩部分。 科里奧利質(zhì)量流量計(jì)不能用于測量低密度介質(zhì)和低壓氣體;液體中含氣量超過。測量系統(tǒng)根據(jù)科氏力原理測量介質(zhì)的質(zhì)量流量??剖狭κ俏矬w在旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)中做直線運(yùn)動時(shí)所受 的力。 ·Δω 科氏力 Δ ω 角速度 旋轉(zhuǎn)或振動時(shí)的徑向速度 科氏力大小與運(yùn)動物體的質(zhì)量Δ 、速度成正比,即與介質(zhì)的質(zhì)量流量成正比。質(zhì)量流 量計(jì)用測量管的振。
該流量計(jì)同時(shí)實(shí)現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測量。當(dāng)芯片處于工作狀態(tài)時(shí),在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過傳感器時(shí),氣體的流動將破壞該溫度場的分布,形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場分布。微機(jī)電系統(tǒng)流量計(jì)芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號,由一個(gè)專門的電路變送器對此信號進(jìn)行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的擾動不同,因而能測量氣體的質(zhì)量流量或總流量。
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